Е.Г. Савченко, В.М. Стучебников

Приводится описание датчиков давления промышленной группы МИДА для криогенных сред, которые не имеют аналогов в России. Датчик является «холодным», т.е. его первичный преобразователь можно устанавливать непосредственно на резервуар или трубопровод с криогенной средой. Это возможно благодаря использованию измерительного элемента на основе структуры «кремний на сапфире». Датчик способен одновременно измерять давление и температуру, т.е. и давление и температуру измеряет один чувствительный элемент. Показано, что датчик обладает высокими метрологическими характеристиками при температуре жидкого азота. Продемонстрировано влияние термоциклирования в процессе калибровки и изготовления датчика на стабилизацию его выходного сигнала.

полный текст