Ю.А.Васьков, Е.Г.Савченко, В.М.Стучебников, А.В. Тюрин,
С.И. Саликеев
ООО МИДАУС, Ульяновск, Россия
АО «Вакууммаш», Казань, Россия
ВТЭУ КНИТУ (КХТИ), Казань, Россия
Приведены характеристики высокоточных цифровых (RS485/Modbus) датчиков абсолютного давления МИДА-ДА-15-Э-В на основе структур «кремний на сапфире» для вакуумной техники.
Для обеспечения более удобного и частного просмотра этот веб-сайт использует