Авторы: Савченко Е.Г., Стучебников В.М.
В предлагаемой статье рассмотрена такая характеристика тензопреобразователей давления на основе структур «Кремний-на-сапфире» (КНС) как гистерезис первого нагружения (ГПН). Показаны различия ГПН у преобразователей, отличающихся материалами упругой мембраны и припоя, а также показаны особенности проявления данного параметра. Продемонстрированы возможности разработки преобразователей давления на основе структур КНС с минимальным гистерезисом первого нагружения.