Авторы: Савченко Е.Г., Стучебников В.М., Устинов А.А.
В представленной статье рассмотрены некоторые гистерезисные явления в преобразователях давления на основе структур «кремний на сапфире», обсуждены методы их уменьшения. Проведено сравнение гистерезисных эффектов от давления и температуры в стандартных преобразователях давления и приборах, в которых чувствительный элемент соединяется с титановой мембраной посредством аморфного припоя на основе титана. Продемонстрированы преимущества данной технологии.